8インチウエハース、6インチポケット付き

材質：シリコン

（クォーツ、SiC、Al₂O₃ 99.5%も利用可能）

ウエハサイズ：8インチ

ウェーハ直径: 200+/-.2mm

ウェハ厚さ: 725+/-25μmまたは1000+/-25μm

ポケットサイズ：6インチ

ポケットの深さ：350μm～600μm

オプションとして、貫通穴を使用して真空でウェハを固定することができます。

在庫あり

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