セラミックウエハー

直径                4インチ            5インチ                6インチ

厚さ（μm）      500          625             675

材質Al₂O₃ 99.5%

TTV（μm）                15歳未満         15歳未満              15歳未満

反り（μm）     40歳未満         40歳未満             60歳未満