石英ウエハ

直径                4インチ            5インチ                6インチ

厚さ（μm）      500          625             675

材料 　　　　 クリスタルクォーツ

グレード/ブランド         光学、SAW

表面仕上げ    DSP/SSP

TTV（μm）                10未満         10未満              15歳未満

反り（μm）     40歳未満         40歳未満             60歳未満

上面Ra（μm）   <1